SMAL的空间分辨率可以解析亚衍射极限特征(图2),而传统的光学显微镜无法解决(图1)用户可以通过光学方式检查样品,获得由裂缝或灯丝桥引起的纳米级故障。用户可以检查样品是否符合预期的尺寸、形状以及它们的图形/布局。并保留光学显微镜的所有优势快速、样品无损、全真彩色。